大家好，今天小編關(guān)注到一個比較有意思的話題，就是關(guān)于長春石墨烯反應(yīng)釜的問題，于是小編就整理了4個相關(guān)介紹長春石墨烯反應(yīng)釜的解答，讓我們一起看看吧。
石墨盤用途？
用途主要是能用于密封熱水、過熱蒸氣、熱傳遞流體、氨溶液、碳氫化合物、低溫液體等介質(zhì)，同時用于高溫、高壓、耐腐蝕介質(zhì)下閥門、泵、反應(yīng)釜的密封。
石墨盤主要是由各種增強(qiáng)纖維、金屬絲（鋼絲、銅絲、鎳絲、碳纖維，預(yù)氧絲、玻璃紗）等增強(qiáng)的石墨線為原料精工編織而得。適用于高溫高壓條件下的動密封。它能用于密封熱水、過熱蒸氣、熱傳遞流體、氨溶液、碳?xì)浠衔?、低溫液體等介質(zhì)，主要用于高溫、高壓、耐腐蝕介質(zhì)下閥門、泵、反應(yīng)釜的密封 。它也是獨(dú)特的萬用密封盤。
在外延生長領(lǐng)域，高純石墨盤是必不可少的。它在外延生長中起到加熱和裝載半導(dǎo)體晶圓的作用。
目前，主流外延設(shè)備廠商配套的石墨盤在結(jié)構(gòu)上基本相同，均***用在石墨盤基座上設(shè)計一個晶圓形狀的淺凹槽的方式來裝載晶圓。
這種設(shè)計在生長小尺寸的晶圓(比如說4寸半導(dǎo)體晶圓)來說是合理的，維護(hù)起來也很方便。
但對于生長大尺寸的外延片，基于降低晶圓被旋轉(zhuǎn)的石墨盤甩出的風(fēng)險，晶圓槽底部相對于石墨盤頂部的高度比小尺寸石墨盤大一些。
這種設(shè)計導(dǎo)致了生長大尺寸外延片尤其是厚膜外延片出現(xiàn)了以下幾個問題：
1)由于石墨盤與晶圓接觸區(qū)域較多，在生長厚膜外延片時，沉積的外延層會增加石墨盤與半導(dǎo)體晶圓的粘接，使得生長完成后將外延片從石墨盤中無損傷取出較為困難，甚至可能導(dǎo)致裂片；
2)因晶圓邊緣處較高的臺階使得該區(qū)域存在氣體湍流，容易滯留較多的生長氣體，從而使得外延片厚度和載流子濃度均勻性較差；
3)因外延爐一般***用射頻感應(yīng)加熱，熱量傳遞的方向是沿著石墨盤徑向從邊緣到中心，使得石墨盤邊緣的溫度高于中心區(qū)域的溫度，這在大尺寸外延生長中尤為突出。
石墨比表面積大是什么原因？
一、比表異常和很多方面都有關(guān)系1、 粒度大小會直接影響比表大小2、石墨化爐完整性，封閉性3、出爐溫度控制4、表層料管控二、 粒度問題1、過程控制（機(jī)械磨，混批，反應(yīng)釜，整形，打散等等都會影響粒度）2、篩上物的添加比例
換熱器的定義是什么？
定義：換熱器是將熱流體的部分熱量傳遞給冷流體的設(shè)備，又稱熱交換器。 分類：換熱器是實(shí)現(xiàn)化工生產(chǎn)過程中熱量交換和傳遞不可缺少的設(shè)備。在熱量交換中常有一些腐蝕性、氧化性很強(qiáng)的物料，因此，要求制造換熱器的材料具有抗強(qiáng)腐蝕性能。換熱器的分類比較廣泛：反應(yīng)釜 壓力容器 冷凝器 反應(yīng)鍋 螺旋板式換熱器 波紋管換熱器 列管換熱器 板式換熱器 螺旋板換熱器 管殼式換熱器 容積式換熱器 浮頭式換熱器 管式換熱器 熱管換熱器 汽水換熱器 換熱機(jī)組 石墨換熱器 空氣換熱器 鈦換熱器 換熱設(shè)備，要求制造換熱器的材料具有抗強(qiáng)腐蝕性能。
它可以用石墨、陶瓷、玻璃等非金屬材料以及不銹鋼、鈦、鉭、鋯等金屬材料制成。但是用石墨、陶瓷、玻璃等材料制成的有易碎、體積大、導(dǎo)熱差等缺點(diǎn)，用鈦、鉭、鋯等稀有金屬制成的換熱器價格過于昂貴，不銹鋼則難耐許多腐蝕性介質(zhì)，并產(chǎn)生晶間腐蝕。
換熱器都有哪些？
定義：換熱器是將熱流體的部分熱量傳遞給冷流體的設(shè)備，又稱熱交換器。分類：換熱器是實(shí)現(xiàn)化工生產(chǎn)過程中熱量交換和傳遞不可缺少的設(shè)備。在熱量交換中常有一些腐蝕性、氧化性很強(qiáng)的物料，因此，要求制造換熱器的材料具有抗強(qiáng)腐蝕性能。換熱器的分類比較廣泛：反應(yīng)釜 壓力容器 冷凝器 反應(yīng)鍋 螺旋板式換熱器 波紋管換熱器 列管換熱器 板式換熱器 螺旋板換熱器 管殼式換熱器 容積式換熱器 浮頭式換熱器 管式換熱器 熱管換熱器 汽水換熱器 換熱機(jī)組 石墨換熱器 空氣換熱器 鈦換熱器 換熱設(shè)備，要求制造換熱器的材料具有抗強(qiáng)腐蝕性能。
它可以用石墨、陶瓷、玻璃等非金屬材料以及不銹鋼、鈦、鉭、鋯等金屬材料制成。
但是用石墨、陶瓷、玻璃等材料制成的有易碎、體積大、導(dǎo)熱差等缺點(diǎn)，用鈦、鉭、鋯等稀有金屬制成的換熱器價格過于昂貴，不銹鋼則難耐許多腐蝕性介質(zhì)，并產(chǎn)生晶間腐蝕。
到此，以上就是小編對于長春石墨烯反應(yīng)釜的問題就介紹到這了，希望介紹關(guān)于長春石墨烯反應(yīng)釜的4點(diǎn)解答對大家有用。
