大家好，今天小編關(guān)注到一個(gè)比較有意思的話題，就是關(guān)于石墨反應(yīng)釜的問題，于是小編就整理了2個(gè)相關(guān)介紹石墨反應(yīng)釜的解答，讓我們一起看看吧。
石墨盤用途？
在外延生長領(lǐng)域，高純石墨盤是必不可少的。它在外延生長中起到加熱和裝載半導(dǎo)體晶圓的作用。
目前，主流外延設(shè)備廠商配套的石墨盤在結(jié)構(gòu)上基本相同，均***用在石墨盤基座上設(shè)計(jì)一個(gè)晶圓形狀的淺凹槽的方式來裝載晶圓。
這種設(shè)計(jì)在生長小尺寸的晶圓(比如說4寸半導(dǎo)體晶圓)來說是合理的，維護(hù)起來也很方便。
但對于生長大尺寸的外延片，基于降低晶圓被旋轉(zhuǎn)的石墨盤甩出的風(fēng)險(xiǎn)，晶圓槽底部相對于石墨盤頂部的高度比小尺寸石墨盤大一些。
這種設(shè)計(jì)導(dǎo)致了生長大尺寸外延片尤其是厚膜外延片出現(xiàn)了以下幾個(gè)問題：
1)由于石墨盤與晶圓接觸區(qū)域較多，在生長厚膜外延片時(shí)，沉積的外延層會增加石墨盤與半導(dǎo)體晶圓的粘接，使得生長完成后將外延片從石墨盤中無損傷取出較為困難，甚至可能導(dǎo)致裂片；
2)因晶圓邊緣處較高的臺階使得該區(qū)域存在氣體湍流，容易滯留較多的生長氣體，從而使得外延片厚度和載流子濃度均勻性較差；
3)因外延爐一般***用射頻感應(yīng)加熱，熱量傳遞的方向是沿著石墨盤徑向從邊緣到中心，使得石墨盤邊緣的溫度高于中心區(qū)域的溫度，這在大尺寸外延生長中尤為突出。
用途主要是能用于密封熱水、過熱蒸氣、熱傳遞流體、氨溶液、碳氫化合物、低溫液體等介質(zhì)，同時(shí)用于高溫、高壓、耐腐蝕介質(zhì)下閥門、泵、反應(yīng)釜的密封。
石墨盤主要是由各種增強(qiáng)纖維、金屬絲（鋼絲、銅絲、鎳絲、碳纖維，預(yù)氧絲、玻璃紗）等增強(qiáng)的石墨線為原料精工編織而得。適用于高溫高壓條件下的動密封。它能用于密封熱水、過熱蒸氣、熱傳遞流體、氨溶液、碳?xì)浠衔?、低溫液體等介質(zhì)，主要用于高溫、高壓、耐腐蝕介質(zhì)下閥門、泵、反應(yīng)釜的密封 。它也是獨(dú)特的萬用密封盤。
聚合反應(yīng)釜工作原理？
高壓聚合反應(yīng)釜是用于制造有機(jī)聚合物球體，具有一個(gè)瘦長型的釜體以及一組插設(shè)在釜體內(nèi)的可替換的框式或槳式攪拌器。在聚合攪拌過程中高壓聚合反應(yīng)釜內(nèi)流***于各軸向不同點(diǎn)處的線速度差異較小，從而可以獲得粒度較為均一的聚合單體，同時(shí)***用本實(shí)用新型所設(shè)計(jì)的攪拌器也使高壓聚合反應(yīng)釜內(nèi)各介質(zhì)流層的流速更趨均勻。
高壓聚合反應(yīng)釜的結(jié)構(gòu)和原理：
高壓聚合反應(yīng)釜由反應(yīng)容器、攪拌器及傳動系統(tǒng)、冷卻裝置、安全裝置、加熱爐等組成。
1、釜體、釜蓋***用1Cr18Ni9Ti不銹鋼加工制成，釜體通過螺紋與法蘭聯(lián)接，釜蓋為正體平板蓋，兩者由周向均布的主螺栓、螺母緊固聯(lián)接。
2、高壓釜主密封口***用A型的雙線密封，其余密封點(diǎn)均***用圓弧面與平面、圓弧面與圓弧面的線接觸的密封形式，依靠接觸面的高精度和光潔度，達(dá)到良好的密封效果。
3、釜體外裝有桶型碳化硅爐芯，電爐絲穿于爐芯中，其端頭由爐殼側(cè)下部穿出，通過接線螺柱，橡套電纜與控制器相連。
4、高壓聚合反應(yīng)釜釜蓋上裝有壓力表，爆破膜安全裝置，汽液相閥，溫度傳感器等，便于隨時(shí)了解釜內(nèi)的反應(yīng)情況，調(diào)節(jié)釜內(nèi)的介質(zhì)比例，并確保安全運(yùn)行。
5、聯(lián)軸器主要由具有很強(qiáng)磁力的一對內(nèi)、外磁環(huán)組成，中間有承壓的隔套。攪拌器由伺服電機(jī)通過聯(lián)軸器驅(qū)動?？刂扑欧姍C(jī)的轉(zhuǎn)速，便可達(dá)到控制攪拌轉(zhuǎn)速的目的。
6、隔套上部裝有測速線圈，連成一體的攪拌器與內(nèi)磁環(huán)旋轉(zhuǎn)時(shí)，測速線圈便產(chǎn)生感應(yīng)電動勢，該電勢與攪拌轉(zhuǎn)速相應(yīng)，該電勢傳遞到轉(zhuǎn)速表上，便可顯示出攪拌轉(zhuǎn)速。
7、磁聯(lián)軸器與釜蓋間裝有冷卻水套，當(dāng)操作溫度較高時(shí)應(yīng)通冷卻水，以及磁鋼溫度太高而退磁。
到此，以上就是小編對于石墨反應(yīng)釜的問題就介紹到這了，希望介紹關(guān)于石墨反應(yīng)釜的2點(diǎn)解答對大家有用。
